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潔凈室等級標準
潔凈室等級劃分標準
目前對潔凈室等級劃分最常用的是美國聯(lián)邦FS 209E標準。
一般來說，1級潔凈室主要用于制造大規(guī)模集成電路的微電子工業(yè)；10級的潔凈室主要用于帶寬小于2微米的半導體行業(yè)；100級是垂直流的潔凈室，可用于醫(yī)藥中的無菌制造工藝、外科手術(shù)、人造內(nèi)臟器官和集成電路生產(chǎn)；1000級主要用于光學產(chǎn)品和高質(zhì)量微型軸承的生產(chǎn)，以及飛機陀螺儀的測試；10000級用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的生產(chǎn)，有些情況下也用于食品飲料的生產(chǎn)；100000級用于很多工業(yè)部門生產(chǎn)部門，食品飲料和醫(yī)藥行業(yè)也常常使用這一級潔凈室。
空氣潔凈度等級表
|
空氣潔凈 度 (N) |
大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(個/立方米) |
|||||
|
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.4um |
1um |
5um |
|
|
1 |
10 |
2 |
|
|
|
|
|
2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
|
|
|
3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
|
4 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
|
|
5 |
10000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
|
6 |
100000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
|
7 |
|
|
|
352000 |
83200 |
2930 |
|
8 |
|
|
|
3520000 |
832000 |
29300 |
|
9 |
|
|
|
35200000 |
8320000 |
293000 |
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