凈化工程專用術(shù)語(yǔ)
1、無(wú)塵室 clean room
空氣懸浮粒子濃度受控的房間，它的締造和使用應(yīng)削減室內(nèi)誘人，發(fā)生及停留的粒子，室內(nèi)別的有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按請(qǐng)求進(jìn)行操控。
2、潔凈室區(qū) clean zone
空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間，它的締造和使用應(yīng)削減空間內(nèi)誘人、發(fā)生及停留粒子，空間內(nèi)別的有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按請(qǐng)求進(jìn)行操控，潔凈區(qū)可所以開(kāi)放式或封閉式。
3、移動(dòng)式潔凈小室 mobile clean booth
可全體移動(dòng)方位的小型無(wú)塵室，有剛性和柔性資料圍擋兩類。
4、人身凈化用室 room for cleaning human body
人員在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按必定程序進(jìn)行凈化的房間。
5、物料凈化用室 room for cleaning material
物料在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按必定程序進(jìn)行凈化的房間。
6、粒徑 particle size
給定的粒徑測(cè)定儀所顯示的，與被測(cè)粒子的呼應(yīng)量適當(dāng)?shù)那蛐误w直徑。
7、懸浮粒子 airborne particle
用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣中懸掛浮粒子尺度范圍在0.1um--5um的固體和液體粒子，但不適用于表征懸浮粒子的物理性，化學(xué)性，放射性及生命性。
8、超微粒子 ultrafine particle
具有當(dāng)量直徑小于0.1um的粒子。
9、徽粒子 microparticle
具有當(dāng)量直徑大于5um的粒子。
10、粒徑散布 particle size distribution
粒子粒徑頻率散布和累積散布，是粒徑的函數(shù)。
11、含塵濃度 particle concentration
單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。
12、潔凈度 cleanliness
以單位體積空氣中大于或等于某粒徑粒子的數(shù)量來(lái)區(qū)別的潔凈程度。
13、氣流流型 air flow pattern
對(duì)室內(nèi)空氣的活動(dòng)形狀和散布進(jìn)行合理規(guī)劃。
14、單向流 unidirectional airflow
通過(guò)無(wú)塵室（區(qū)）全部斷面的風(fēng)速安穩(wěn)，大致平行的受控氣流。
15、筆直單向流 vertical unidiractional flow
與水平面筆直的單向流
16、水平單向流 horizontal unidirectional flow
與水平面平行的單向流